Perkembangan teknologi senantiasa memerlukan landasan ilmu pengetahuan yang kuat, disamping kemampuan Eksperimental. Fisika merupakan ilmu pengetahuan, dimana konsep-konsepnya melandasi berbagai teknologi yang berkembang dewasa ini.

Perkembangan teknologi yang banyak didasari oleh konsep fisika, berjalan dengan cepat dalam lingkup yang luas. Hal ini terjadi pada akhir era revolusi industri, terlebih lagi pada era informasi dewasa ini. Disamping itu sistem-sistem produksi dan pelayanan yang tumbuh karena kebutuhan masyarakat melingkupi berbagai disiplin iptek. Untuk itu diperlukan tenaga yang mampu menjembataninya

Program pendidikan Teknik Fisika ditujukan untuk menyiapkan tenaga yang memiliki pengetahuan dan kemampuan dalam mengembangkan berbagai teknologi dengan dasar ilmu fisika dan menjembatani antar disiplinnya. Oleh karena itu Jurusan Teknik Fisika menyiapkan tenaga-tenaga yang :

• memiliki pemahaman konsep fisika yang mendalam dengan dukungan matematika yang kuat, sehingga mampu mengembangkan diri lebih lanjut untuk dapat berperan dalam penerapan dan pengembangan teknologi.
• memiliki kemampuan untuk mewujudkan konsep-konsep fisika yang baru dalam bidang-bidang teknik serta menjembatani berbagai bidang teknik tersebut.

Pada awal berdirinya, bulan Nopember 1965, jurusan ini merupakan salah satu Jurusan di Fakultas Ilmu Pasti dan Alam (FIPIA) ITS, sebagai Jurusan Fisika Teknik. Sejak tanggal 10 Nopember 1983 Jurusan Teknik Fisika hadir di Fakultas Teknologi Industri ITS dengan surat keputusan Dirjen Dikti RI No. 166/Dikti/Kep/1984. Keberadaan Jurusan Teknik Fisika di FTI saat ini tertuang dalam STATUA ITS No. 0443/o/1992 tanggal 18 Nopember 1992.