в плівках системи Ge-GaSb
О. Миколайчук, Н. Луцик, В. Присяжнюк.
Структура, субструктура, концентраційні області існування метастабільних метастабільних твердих розчинів та кінетика структурних перетворень в залежності від технологічних умов одержання тонких плівок системи Ge-GaSb вивчались на просвічуючому електронному мікроскопі УЭМВ-100К. Плівки товщиною біля 500А отримували методом дискретного випаровування у вакуумі. Підкладками служили скло, ситал та сколи лужно-галоїдних монокристалів. Метастабільні тверді розчини системи Ge-GaSb існують лише в тонкоплівковому стані і формуються при достатньо високих пересиченнях по кожному з компонентів в процесі осадження плівок і при відносно низьких температурах, що приводить до гальмування міграційних процесів як на поверхні так і в об’ємі плівок і є умовою осадження метастабільних станів. Фазова рівновага досліджуваної системи в масивному стані описується діаграмою евтектичного типу. Домінуючий вплив на структуроутворення досліджуваних плівок має температура підкладки підтримувана в процесі осадження плівок. Плівки всіх досліджуваних складів, осаджені на підкладки при кімнатній температурі були аморфними. При безперервному нагріві аморфних плівок безпосередньо в колоні електронного мікроскопа виявлено, що в процесі кристалізації формуються двофазні полікристалічні плівки. При температурі підкладки вище 550К також формуються двофазні полікристалічні плівки. І лише у вузькому інтервалі температур підкладки спостерігається формування плівок метастабільних твердих розчинів в усьому концентраційному діапазоні. На сколах лужно-галоїдних монокристалів нарощуються текстуровані та епітаксіальні плівки. При нагріві плівок метастабільних твердих розчинів безпосередньо в колоні мікроскопа спостерігається розпад твердих розчинів. В результаті аналізу кінетики структурних перетворень побудовано концентраційну залежність енергії активації процесу розпаду метастабільних твердих розчинів заміщення в плівках досліджуваної системи.
